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name: cleanroom-protocol-manager description: 洁净室协议管理技能，用于管理协议、污染控制和工艺流程 allowed-tools:

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• Bash metadata: specialization: 纳米技术 domain: 科学 category: 基础设施-质量 priority: high phase: 6 tools-libraries:
  • 洁净室管理系统
  • 协议数据库

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洁净室协议管理器

目的

洁净室协议管理器技能为纳米制造提供全面的洁净室运营管理，确保协议合规性、污染控制和高效的工艺流程。

能力

• 协议版本控制
• 设备资质跟踪
• 污染监控
• 工艺流程文档化
• 培训记录管理
• 维护计划安排

使用指南

协议管理

1. 协议制定

   • 创建分步程序
   • 定义关键参数
   • 包含安全要求

2. 过程控制

   • 跟踪过程执行
   • 监控污染水平
   • 管理设备状态

3. 文档管理

   • 维护修订历史
   • 跟踪操作员培训
   • 生成报告

过程集成

• 所有制造过程
• 纳米材料放大与工艺转移

输入模式

{
  "operation": "create_protocol|update_protocol|track_execution|query_status",
  "protocol_id": "string",
  "process_type": "lithography|deposition|etch|characterization",
  "cleanroom_class": "1|10|100|1000|10000"
}

输出模式

{
  "protocol": {
    "id": "string",
    "version": "string",
    "status": "active|draft|deprecated",
    "steps": [{
      "step_number": "number",
      "description": "string",
      "equipment": "string",
      "parameters": {}
    }]
  },
  "execution_log": {
    "total_runs": "number",
    "success_rate": "number (%)",
    "last_run": "string"
  },
  "contamination_status": {
    "particle_count": "number",
    "classification_met": "boolean"
  }
}