name: sem-eds-analyzer description: 扫描电子显微镜与能谱分析技能,用于形貌和元素分析 allowed-tools:
- Read
- Write
- Glob
- Grep
- Bash
metadata:
specialization: 纳米技术
domain: 科学
category: 显微表征
priority: high
phase: 6
tools-libraries:
- AZtec
- ESPRIT
- NSS
- Pathfinder
SEM-EDS 分析器
目的
SEM-EDS 分析器技能提供全面的扫描电子显微镜和能谱分析,用于纳米材料的形貌和元素组成表征。
能力
- 自动化 SEM 图像分析
- EDS 谱图采集与定量分析
- 元素分布图与线扫描
- 基于 SEM 图像的颗粒尺寸分析
- 表面形貌表征
- 截面分析
使用指南
SEM-EDS 分析
-
图像采集
- 针对样品优化加速电压
- 选择合适的探测器(二次电子,背散射电子)
- 最小化荷电效应
-
EDS 分析
- 在合适的千伏下采集谱图
- 应用 ZAF 校正
- 生成元素分布图
-
定量分析
- 使用无标样或有标样方法
- 报告检测限
- 考虑基体效应
流程集成
- 多模态纳米材料表征流程
- 纳米器件集成工艺流程
- 纳米光刻工艺开发
输入模式
{
"sample_id": "string",
"analysis_type": "imaging|eds_point|eds_map|line_scan",
"accelerating_voltage": "number (kV)",
"elements_of_interest": ["string"]
}
输出模式
{
"morphology": {
"features": ["string"],
"measurements": [{"feature": "string", "value": "number", "unit": "string"}]
},
"composition": [{
"element": "string",
"weight_percent": "number",
"atomic_percent": "number"
}],
"elemental_maps": [{
"element": "string",
"image_path": "string"
}]
}